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Using water structuring by ions to address pattern loading in wet HF-based oxide recess etch

磷酸 氧化物 离子 蚀刻（微加工） 材料科学 傅里叶变换红外光谱 化学 分析化学（期刊） 化学工程 无机化学 纳米技术 色谱法 冶金 有机化学 图层（电子） 工程类
作者
Guy Vereecke,Hanne De Coster,Denis Dochain,Kunsulu Nurekeyeva,Shona Conlan,Anthony Nsimba,Kurt Wostyn,Efrain Altamirano Sánchez
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier BV]
日期：2023-06-26 卷期号：279: 112058-112058
标识
DOI：10.1016/j.mee.2023.112058
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