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Chemical vapor deposition of zinc gallate using a novel single precursor

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作者
C. G. Kim,Won‐Gun Koh,Su-Jin Ku,Eun Ju Nah,K.‐S. Yu,Y. Kim
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1999-09-01 卷期号：09 (PR8): Pr8-860 被引量：4
标识
DOI：10.1051/jp4:19998107
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