材料科学
铍
蚀刻(微加工)
硅
表面粗糙度
离子束
表面光洁度
冶金
梁(结构)
复合材料
光学
图层(电子)
物理
核物理学
作者
Н. И. Чхало,M. S. Mikhailenko,Alexei V. Milkov,А. Е. Пестов,В. Н. Полковников,Н. Н. Салащенко,I. L. Strulya,М. V. Zorina,S. Yu. Zuev
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2017.01.023
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