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Band alignment of Al2O3 with (−201) β-Ga2O3

原子层沉积带隙 X射线光电子能谱溅射沉积材料科学导带电介质带偏移量薄膜退火（玻璃）价带光谱学分析化学（期刊）光电子学溅射化学电子核磁共振纳米技术物理量子力学复合材料色谱法

作者

Patrick H. Carey,F. Ren,David C. Hays,F. Ren,S. J. Pearton,Soohwan Jang,Akito Kuramata

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2017-05-06 卷期号：142: 52-57 被引量：64

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2017.05.006

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