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X-ray photoelectron spectroscopy investigation of oxidation states in molybdenum thin films for Cu(InGa)Se2 applications

作者
Yun Chan Kang,Rajendra Khanal,Jeong Yoon Park,R. D. Ramsier,H. Khatri,Sylvain Marsillac
出处
期刊:Journal of vacuum science and technology [American Vacuum Society]
卷期号:28 (3): 545-548 被引量:7
标识
DOI:10.1116/1.3425634
摘要

Sputter deposited Mo thin films on soda-lime glass are studied by x-ray photoelectron spectroscopy. It is found that the proportion of metallic Mo at the surface decreases and the number of Mo6+ species increases as the Ar gas pressure used for sputtering is increased. Sodium, diffusing during deposition from the substrate, is also detected on the surface of the Mo thin films. The implications for optimizing Mo thin films for Cu(InGa)Se2 applications are discussed.

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