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Chemical characterization of SiC N nanolayers by FTIR-and Raman spectroscopy, XPS and TXRF-NEXAFS

作者
Olaf Baake,Н. И. Файнер,P. Hoffmann,M. L. Kosinova,Yu. M. Rumyantsev,В. А. Трунова,Andreas Klein,Wolfgang Ensinger,Beatrix Pollakowski,Burkhard Beckhoff,G. Ulm
出处
期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research [Elsevier BV]
日期：2009-03-10 卷期号：603 (1-2): 174-177 被引量：20
标识
DOI：10.1016/j.nima.2009.03.007
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