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Low dielectric constant materials and methods for interlayer dielectric films in ultralarge-scale integrated circuit multilevel interconnections
作者
Tetsuya Homma
出处
期刊：
Materials Science and Engineering R
[Elsevier BV]
日期：1998-01-01
卷期号：23 (6): 243-285
被引量：111
链接
ac.jp
doi.org
标识
DOI：10.1016/s0927-796x(98)00012-6
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