微探针
材料科学
静电计
晶体管
光电子学
电极
NMOS逻辑
小型化
电容
微线圈
电气工程
纳米技术
电压
工程类
化学
电磁线圈
物理化学
矿物学
作者
Jan Van der Spiegel,I. Lauks,Paddy K. L. Chan,Davorin Babić
出处
期刊:Sensors and Actuators
[Elsevier]
日期:1983-01-01
卷期号:4: 291-298
被引量:344
标识
DOI:10.1016/0250-6874(83)85035-5
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI