XAFS studies of Al/TiN x films on Si(100) at the Al K- and L 3,2-edge

X射线吸收精细结构 K-边 材料科学 GSM演进的增强数据速率 结晶学 分析化学(期刊) 冶金 化学 物理 光学 光谱学 吸收光谱法 计算机科学 电信 量子力学 色谱法
作者
Zhaorui Zou,Yongfeng Hu,Tsun‐Kong Sham,Huili Huang,Guo Qin Xu,C. S. Seet,L. Chan
出处
期刊:Journal of Synchrotron Radiation [Wiley]
卷期号:6 (3): 524-525 被引量:6
标识
DOI:10.1107/s0909049599001247
摘要

XAFS studies of AI
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