压阻效应
材料科学
制作
悬臂梁
加速度计
灵敏度(控制系统)
微电子机械系统
体微机械加工
光电子学
硅
表面微加工
巴(单位)
电压
表征(材料科学)
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电气工程
电子工程
纳米技术
复合材料
工程类
计算机科学
物理
病理
气象学
操作系统
医学
替代医学
作者
Yuebin Ning,Y. Loke,Graham McKinnon
标识
DOI:10.1016/0924-4247(95)00981-7
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