Fabrication and characterization of high g-force, silicon piezoresistive accelerometers

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作者
Yuebin Ning,Y. Loke,Graham McKinnon
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:48 (1): 55-61 被引量:72
标识
DOI:10.1016/0924-4247(95)00981-7

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