Design of a 2×2 MMI Coupler Based on SOI

设计了一种可用于阵列波导光栅（AWG）解调集成微系统的绝缘体上硅（SOI）基2×2多模干涉（MMI）耦合器,用光束传播法（BPM）对MMI耦合器进行了模拟。耦合器输入/输出波导采用倒锥形,多模干涉区尺寸为6μm×57μm。在TE偏振中心波长为1.55μm时,器件附加损耗为0.46dB,不均匀性为0.06dB。在1.49～1.59μm波长范围内耦合器的附加损耗小于1.55dB。仿真结果表明所设计的2×2MMI耦合器体积小、附加损耗低、波长响应范围宽、分光均匀,符合片上集成系统的要求。