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Understanding the machining mechanism in ultrasonic vibration-assisted nanogrinding of GaN
材料科学
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作者
Jiqiang Wang,
Yongda Yan,
Shipeng Wei,
Guangtao Chen,
Hailong Cui,
Yanquan Geng,
Chen Li
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2024-09-02
卷期号：185: 108868-108868
被引量：18
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2024.108868
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