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Investigation of 1 kV buffer breakdown voltage for GaN-on-Si epitaxial structures with AlGaN/AlN superlattice systems
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作者
Lei Pan,
Shuang Xu,
Ying Hao,
Sichao Li,
Bo Zhao,
Shuangzan Lu,
Chen Xu,
Lin Liang,
Junping Liu
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2025-11-09
卷期号：203: 110238-110238
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.110238
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