Effect of substrate bias on the formation of nanotwin and properties in Cu thin films for advanced packaging technology

基质(水族馆) 材料科学 溅射沉积 微观结构 薄膜 沉积(地质) 偏压 溅射 复合材料 光电子学 冶金 纳米技术 电气工程 地质学 海洋学 工程类 古生物学 电压 沉积物
作者
Leh-Ping Chang,Sun-Yi Chang,Fan-Yi Ouyang
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:482: 130737-130737 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2024.130737
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