Development of Novel Photosensitive Polyimide with $170{ }^{\circ} \mathrm{C}$ Curing Process to Enable Low Warpage and Sub-$\mathbf{2} \mu \mathrm{m}$ Patterning for Rdls in Next Generation Interposer

聚酰亚胺 固化(化学) 物理 材料科学 光电子学 复合材料 图层(电子)
作者
Yusuke Murata,S. Horikawa,Mutsuo Inoue,Ryoji Tatara,Hirokazu Ito
标识
DOI:10.1109/ectc51687.2025.00150
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