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Si precursor inhibitors for area selective deposition of Ru

沉积（地质） 材料科学 化学 纳米技术 化学工程 组合化学 地质学 工程类 古生物学 沉积物
作者
Bonwook Gu,Sumaira Yasmeen,Geun-Ha Oh,Il‐Kwon Oh,Youngho Kang,Han‐Bo‐Ram Lee
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2024-06-12 卷期号：669: 160530-160530 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2024.160530
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