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TiSiN/AlCrN multilayer coatings with gradient modulation period deposited by HiPIMS: mechanical and tribological properties

高功率脉冲磁控溅射 摩擦学 材料科学 句号（音乐） 调制（音乐） 复合材料 冶金 纳米技术 薄膜 溅射沉积 溅射 物理 声学
作者
Rong Tu,Yuqing Qiao,Mai Yang,Mingquan Jiang,Yibing Su,Yuzhe Han,Qizhong Li,Meijun Yang,Song Zhang,Takashi Goto
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2025-03-01 卷期号：: 114217-114217
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114217
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