Ultra-low temperature ozone annealing for decreasing sub-threshold swing of oxide thin film transistors

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作者
Qi-Zhen Chen,Jiahao Yan,Weihua Fu,Ming-Jie Zhao,Yun-Shao Cho,Chien-Jung Huang,Shui-Yang Lien
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:195: 109623-109623
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2025.109623

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