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Influence of Ag on the microstructure, mechanical and tribological properties of SiC–Ag composite film deposited by the industrial DC magnetron sputtering system

材料科学 无定形固体 润滑油 摩擦学 溅射沉积 微观结构 复合数 复合材料 溅射 冶金 薄膜 纳米技术 结晶学 化学
作者
Hongbo Ju,Fanlin Kong,Junhua Xu,Yaoxiang Geng,Chengke Zhang,Jing Luan
出处
期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2023-10-05 卷期号：218: 112672-112672 被引量：7
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2023.112672
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