Atomic-Layer Chemical-Vapor-Deposition of TiN Thin Films on Si(100) and Si(111)

材料科学 化学气相沉积 图层(电子) 原子层沉积 薄膜 沉积(地质) 燃烧化学气相沉积 离子镀 化学工程 纳米技术 碳膜 冶金 生物 工程类 古生物学 沉积物
作者
Young-Seok Kim,Jeon Hyeongtag,Kim Do Young,Kim Won Mok
出处
期刊:Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
卷期号:37 (6): 1045-1045 被引量:9
标识
DOI:10.3938/jkps.37.1045

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