亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Improvement of Si3N4/SiO2 etching selectivity through the passivation of SiO2 surface in aromatic carboxylic acid-added H3PO4 solutions for the 3D NAND integration

钝化 蚀刻(微加工) 羧酸 共价键 吸附 材料科学 氢键 堆栈(抽象数据类型) 化学工程 化学 图层(电子) 无机化学 有机化学 纳米技术 高分子化学 分子 工程类 程序设计语言 计算机科学
作者
Taehyeon Kim,Taegun Park,Sangwoo Lim
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier]
卷期号:619: 156758-156758 被引量:13
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2023.156758
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

祝大家在新的一年里科研腾飞
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
安年完成签到 ,获得积分10
6秒前
自信咖啡豆完成签到 ,获得积分10
8秒前
爱听歌电灯胆完成签到 ,获得积分10
11秒前
山川日月完成签到,获得积分10
11秒前
胡舒阳完成签到,获得积分10
13秒前
14秒前
合一海盗完成签到,获得积分10
15秒前
15秒前
15秒前
调皮的幻梅完成签到 ,获得积分10
16秒前
斯文败类应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
情怀应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
CipherSage应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
英姑应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
烟花应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
慕青应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
sera_phina完成签到,获得积分10
18秒前
火如云发布了新的文献求助10
19秒前
挖井的人完成签到,获得积分10
21秒前
apocalypse完成签到 ,获得积分10
21秒前
不安的晓灵完成签到 ,获得积分10
23秒前
胡舒阳发布了新的文献求助10
24秒前
lca507完成签到,获得积分10
27秒前
大帅完成签到 ,获得积分10
27秒前
34秒前
sera_phina发布了新的文献求助10
36秒前
36秒前
CC完成签到 ,获得积分10
37秒前
47秒前
王123完成签到 ,获得积分10
47秒前
drtianyunhong完成签到,获得积分10
49秒前
香菜肉丸完成签到 ,获得积分10
49秒前
光亮海云完成签到,获得积分20
51秒前
CodeCraft应助失眠妙竹采纳,获得10
52秒前
52秒前
lancelot发布了新的文献求助10
53秒前
激昂的逊完成签到 ,获得积分10
54秒前
梁海萍完成签到,获得积分10
1分钟前
胡大笑哈哈哈完成签到 ,获得积分10
1分钟前
lqqq完成签到 ,获得积分10
1分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Psychology and Work Today 1400
Operational Bulk Evaporation Duct Model for MORIAH Version 1.2 1200
Variants in Economic Theory 1000
Global Ingredients & Formulations Guide 2014, Hardcover 1000
Research for Social Workers 1000
Signals, Systems, and Signal Processing 880
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 生物 医学 工程类 计算机科学 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 复合材料 内科学 化学工程 人工智能 催化作用 遗传学 数学 基因 量子力学 物理化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 5839576
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 6141612
关于积分的说明 15603880
捐赠科研通 4957426
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2672254
邀请新用户注册赠送积分活动 1617334
关于科研通互助平台的介绍 1572366