立夏
SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Improvement of Si3N4/SiO2 etching selectivity through the passivation of SiO2 surface in aromatic carboxylic acid-added H3PO4 solutions for the 3D NAND integration
钝化
蚀刻(微加工)
羧酸
共价键
吸附
材料科学
氢键
堆栈(抽象数据类型)
化学工程
化学
图层(电子)
无机化学
有机化学
纳米技术
高分子化学
分子
计算机科学
工程类
程序设计语言
作者
Taehyeon Kim,
Taegun Park,
Sangwoo Lim
出处
期刊:
Applied Surface Science
[Elsevier BV]
日期:2023-02-15
卷期号:619: 156758-156758
被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2023.156758
求助该文献
最长约 10秒,即可获得该文献文件
相关文献
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
活动
『应助活动周』获奖名单已公布 🔥
(2025-4-2)
更新
『中科院2025期刊分区』已更新
(2025-3-23)
更新
『即时热点』模块已上线
(2025-2-28)
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
李健
上传了
应助文件
2秒前
东东
发布了新的
文献求助
20
2秒前
谦让的凝阳
发布了新的
文献求助
10
3秒前
Inevitable
完成签到,获得积分
10
4秒前
天天快乐
上传了
应助文件
6秒前
剪影改
发布了新的
文献求助
10
7秒前
情怀
上传了
应助文件
9秒前
Lucas
的
应助
被
谦让的凝阳
采纳,获得
10
10秒前
汝南碧螺春
发布了新的
文献求助
10
10秒前
bkagyin
上传了
应助文件
11秒前
传奇3
上传了
应助文件
12秒前
sophiemore
完成签到,获得积分
10
13秒前
内向的雪旋
发布了新的
文献求助
10
13秒前
科研通AI5
上传了
应助文件
14秒前
科研通AI5
上传了
应助文件
14秒前
千葉
的
应助
被
xgx984
采纳,获得
10
14秒前
lalala
完成签到,获得积分
10
15秒前
英俊的铭
上传了
应助文件
15秒前
海风
发布了新的
文献求助
10
16秒前
Panny
发布了新的
文献求助
10
16秒前
一蓑烟雨任平生
的
应助
被
木木木
采纳,获得
10
16秒前
情怀
的
应助
被
透视眼
采纳,获得
10
17秒前
wen_xxx
完成签到,获得积分
20
17秒前
研友_VZG7GZ
上传了
应助文件
17秒前
深情安青
的
应助
被
HAP
采纳,获得
10
18秒前
英俊的铭
的
应助
被
地精术士
采纳,获得
10
18秒前
weiweiwei
发布了新的
文献求助
10
18秒前
慕青
的
应助
被
lizhiqian2024
采纳,获得
10
18秒前
爱学习的小迟
发布了新的
文献求助
10
20秒前
zty568
发布了新的
文献求助
10
20秒前
大个
的
应助
被
武雨寒
采纳,获得
10
21秒前
wanci
的
应助
被
游手浩闲
采纳,获得
10
22秒前
小强123
发布了新的
文献求助
10
25秒前
ncjdoi
发布了新的
文献求助
10
25秒前
xiaoxiao
发布了新的
文献求助
10
25秒前
彭于晏
的
应助
被
闪闪的
采纳,获得
10
26秒前
小马甲
的
应助
被
aganer
采纳,获得
10
27秒前
打打
上传了
应助文件
27秒前
FashionBoy
上传了
应助文件
27秒前
科研通AI5
上传了
应助文件
27秒前
高分求助中
Les Mantodea de Guyane Insecta, Polyneoptera
2500
Nucleophilic substitution in azasydnone-modified dinitroanisoles
500
Technologies supporting mass customization of apparel: A pilot project
450
A China diary: Peking
400
Brain and Heart The Triumphs and Struggles of a Pediatric Neurosurgeon
400
Cybersecurity Blueprint – Transitioning to Tech
400
Mixing the elements of mass customisation
400
热门求助领域
(近24小时)
化学
材料科学
医学
生物
工程类
有机化学
物理
生物化学
纳米技术
计算机科学
化学工程
内科学
复合材料
物理化学
电极
遗传学
量子力学
基因
冶金
催化作用
热门帖子
关注
科研通微信公众号,转发送积分
3784205
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助?
3329356
关于积分的说明
10241666
捐赠科研通
3044820
什么是DOI,文献DOI怎么找?
1671326
邀请新用户注册赠送积分活动
800219
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明
759288
今日热心研友
pluto
188
3110
冰魂
155
1530
cdercder
183
1060
SYLH
182
920
平常的毛豆
108
1410
11哥
109
830
非而者厚
83
780
科研小民工
1600
jenningseastera
31
1240
iNk
43
550
gao_yiyi
27
670
昏睡的蟠桃
930
HEIKU
36
440
余味
34
440
zgt01
33
390
Oracle
630
高大凌寒
600
斯寜
24
320
VT
510
遇上就这样吧
470
注:热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10