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Thermal catalytic etching of diamond by double-metal layers

蚀刻（微加工）材料科学金属图层（电子）钻石氢催化作用各向同性腐蚀干法蚀刻反应离子刻蚀化学工程分析化学（期刊）复合材料化学冶金有机化学色谱法工程类生物化学

作者

Duc Tran,C. Mannequin,M. Bonvalot,Aboulaye Traoré,H. Mariette,Mitsuru Sasaki,E. Gheeraert

出处

期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：2024-04-16 卷期号：145: 111075-111075 被引量：3

链接

hal.sciencedoi.org

标识

DOI：10.1016/j.diamond.2024.111075

摘要

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