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Enhancement of the effect of EDTA and GLY on InP alkaline CMP: Removal rate, surface morphology, and theoretical studies
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作者
Meiling Qi,
Ming Sun,
Xueli Yang
出处
期刊：
Materials Science And Engineering: B
[Elsevier BV]
日期：2025-04-05
卷期号：318: 118288-118288
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.mseb.2025.118288
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