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Impact of Zn-based inorganic-organic hybrid thin film structure on patterning performance for dry EUV resist applications
抵抗
极紫外光刻
材料科学
薄膜
光刻胶
纳米技术
光电子学
图层（电子）
作者
Thi Thu Huong Chu,
Dan N. Le,
Ho Kyung Sung,
Jin-Hyun Kim,
Doo San Kim,
Jean-François Veyan,
Won‐Il Lee,
Nikhil Tiwale,
Chang‐Yong Nam,
Jiyoung Kim
标识
DOI：10.1117/12.3051753
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