Mid-infrared broadband triple-resonance metamaterial absorber based on triple-layer silicon nitride structure

材料科学 超材料吸收剂 超材料 光电子学 带宽（计算） 宽带 吸收（声学） 光学 氮化硅 表面等离子共振 制作 共振（粒子物理） 微波食品加热 表面等离子体子 硅 等离子体子 红外线的 导模共振 反射损耗 表面等离子体激元 谐振器 局域表面等离子体子 太赫兹辐射 电磁辐射 联轴节（管道） 远红外 模耦合 光学腔 Q系数 氮化物