Liquid-Metal Interconnects on SiC MOSFETs

材料科学 光电子学 焊接 炸薯条 碳化硅 可靠性(半导体) 电子工程 热的 功率(物理) 功率半导体器件 温度循环 倒装芯片 MOSFET 功率MOSFET 锡膏 电气工程 工程物理 动力循环 互连 随时间变化的栅氧化层击穿 热阻 电子包装 降级(电信) 集成电路封装 模具(集成电路) 热导率 温度测量
作者
Nick Baker,Szymon Bęczkowski,Kjeld Pedersen,Asger Bjørn Jørgensen,Kaichen Zhang,Stefan Meyer,Francesco Iannuzzo,Arthur Boutry
标识
DOI:10.1109/ecce58356.2025.11259945
摘要

This paper uses a below room-temperature Gallium-based liquid-metal paste for chip-level packaging of SiC MOSFETs. All chip critical interconnects (die-attach, topside, and gate connections) are implemented using liquid-metal. We evaluate five liquid-metal packaged SiC MOSFETs against three conventional Solder and Wirebonded SiC MOSFETs. The liquid-metal versions show improved thermal performance and an increased power cycling performance by a factor of 10x. Notably, the liquid-metal pastes are contained without the use of any encapsulation.
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