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Polymer-based semiconductor wafer cleaning: The roles of organic acid, processing solvent, and polymer hydrophobicity

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作者
Seong Hoon Yu,Hayoung Jeon,Hyunki Ko,Hoon Ji,Soyeon Jeon,Mingyu Jae,Geon‐Hee Nam,Kyoungsuk Kim,Yeongjin Gil,Kuntack Lee,Dae Sung Chung
出处
期刊：Chemical Engineering Journal [Elsevier BV]
日期：2023-06-13 卷期号：470: 144102-144102 被引量：2
标识
DOI：10.1016/j.cej.2023.144102
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