Low-temperature Ge and GeSn Chemical Vapor Deposition using Ge2H6

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作者
Federica Gencarelli,Benjamin Vincent,Laurent Souriau,Olivier Richard,Wilfried Vandervorst,Roger Loo,Matty Caymax,Marc Heyns
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:520 (8): 3211-3215 被引量:80
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2011.10.119
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