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Rapid formation of high aspect ratio through holes in thin glass substrates using an engineered, QCW laser approach

材料科学 激光器 激光打孔 光学 光电子学 二极管 物理
作者
Hisashi Matsumoto,Zhibin Lin,Joel N. Schrauben,Jan Kleinert,Rodrigo Gómez Vázquez,Michele Buttazzoni,Andreas Otto
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2022-03-08 卷期号：128 (4) 被引量：19
标识
DOI：10.1007/s00339-022-05404-4
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