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Rapid formation of high aspect ratio through holes in thin glass substrates using an engineered, QCW laser approach
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作者
Hisashi Matsumoto,
Zhibin Lin,
Joel N. Schrauben,
Jan Kleinert,
Rodrigo Gómez Vázquez,
Michele Buttazzoni,
Andreas Otto
出处
期刊：
Applied Physics A
[Springer Nature]
日期：2022-03-08
卷期号：128 (4)
被引量：14
标识
DOI：10.1007/s00339-022-05404-4
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