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作者
YoungJa Kim,
GeeHong Kim,
Jaejong Lee
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2010-01-05
卷期号：87 (5-8): 839-842
被引量：15
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.12.062
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