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Morphology of hydrogen-terminated Si(111) and Si(100) surfaces upon etching in HF and buffered-HF solutions

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作者

P. Dumas,Yves J. Chabal,P. Jakob

出处

期刊：Surface Science [Elsevier BV]
日期：1992-05-01 卷期号：269-270: 867-878 被引量：215

标识

DOI：10.1016/0039-6028(92)91363-g

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