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Structure-Zone Models Of Thin Films

计算机科学 薄膜 溅射沉积 材料科学 溅射 口译(哲学) 光学 地质学 纳米技术 物理 程序设计语言
作者
John A. Thornton
出处
期刊:Proceedings of SPIE [SPIE]
卷期号:0821: 95-95 被引量:109
标识
DOI:10.1117/12.941846
摘要

Structure zone models based on examinations of thin films using optical and scanning microcopy have provided useful guide-lines in categorizing general regimes of film growth behavior. However, many observations have been made since the original zone model for evaporated coatings was proposed by Movchan and Demichishin in 1962 and extended to magnetron sputtering in 1974. The purpose of this paper is to revisit the structure zone models and their physical interpretation in the light of recent experimental and computer simulation observations.
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