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Characterisation of reactive unbalanced magnetron sputtered chromium oxynitride thin films with air

材料科学铬化学计量学 X射线光电子能谱分析化学（期刊）溅射沉积溅射薄膜腔磁控管氮化铬冶金氮化物化学工程复合材料纳米技术物理化学化学图层（电子）工程类色谱法

作者

Saı̈d Agouram

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2004-03-01 卷期号：180-181: 164-168 被引量：18

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2003.10.060

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