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Catalytic behavior of 3-mercapto-1-propane sulfonic acid on Cu electrodeposition and its effect on Cu film properties for CMOS device metallization

作者

Jae Jeong Kim,Soo‐Kil Kim,Yong Sik Kim

出处

期刊：Journal of Electroanalytical Chemistry [Elsevier BV]
日期：2003-01-01 卷期号：542: 61-66 被引量：81

链接

handle.netdoi.org

标识

DOI：10.1016/s0022-0728(02)01450-x

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