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Scaling the MOSFET gate dielectric: From high-k to higher-k? (Invited Paper)
作者
Martin M. Frank,
Sang‐Bum Kim,
S. Brown,
J. Bruley,
M. Copel,
M. Hopstaken,
M. Chudzik,
Vijay Narayanan
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-03-17
卷期号：86 (7-9): 1603-1608
被引量：78
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.03.063
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