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Electroless copper deposition on silicon with titanium seed layer

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作者

Rajendra K. Aithal,S. Yenamandra,R.A. Gunasekaran,P. Coane,Kody Varahramyan

出处

期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2006-01-19 卷期号：98 (1): 95-102 被引量：36

标识

DOI：10.1016/j.matchemphys.2005.08.079

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