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Si/InP direct wafer bonding: A first-principles study
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作者
Xueyi Duan,
Ruyan Kang,
Zehan Liu,
Zhiyuan Zuo,
Jia Zhao
出处
期刊：
Computational Materials Science
[Elsevier BV]
日期：2024-04-30
卷期号：241: 113061-113061
被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.commatsci.2024.113061
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