清晨好,您是今天最早来到科研通的研友!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整地填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您科研之路漫漫前行!

Redeposition mechanism on silicon oxide layers during selective etching process in 3D NAND manufacture

蚀刻(微加工) 图层(电子) 薄脆饼 材料科学 氧化物 化学工程 氧化硅 硅 三元运算 纳米技术 光电子学 冶金 计算机科学 工程类 程序设计语言 氮化硅
作者
Zihan Zhou,Yunwen Wu,Huiqin Ling,Jie Guo,Su Wang,Ming Li
出处
期刊:Journal of Industrial and Engineering Chemistry [Elsevier BV]
卷期号:119: 218-225 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.jiec.2022.11.040
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
ALALAL完成签到,获得积分10
1秒前
酷酷的海莲完成签到,获得积分10
11秒前
呆萌雨完成签到,获得积分10
14秒前
干净的琦完成签到,获得积分0
28秒前
Alina完成签到 ,获得积分10
36秒前
干净的琦发布了新的文献求助30
39秒前
粗暴的镜子完成签到,获得积分10
40秒前
漂亮孤风完成签到,获得积分10
55秒前
漂亮的半兰完成签到,获得积分10
56秒前
热情的衬衫完成签到,获得积分10
1分钟前
欢呼亦绿完成签到,获得积分10
1分钟前
孤独难胜完成签到,获得积分10
1分钟前
糟糕的翅膀完成签到,获得积分0
1分钟前
1分钟前
李橙汁完成签到 ,获得积分10
1分钟前
movoandy发布了新的文献求助10
1分钟前
开心的颤完成签到,获得积分10
1分钟前
null的应助被科研通管家采纳,获得10
1分钟前
1分钟前
懦弱的代云完成签到,获得积分10
1分钟前
阿洁发布了新的文献求助30
2分钟前
dadadada完成签到,获得积分10
2分钟前
633完成签到 ,获得积分10
2分钟前
加油加油加油完成签到,获得积分10
2分钟前
小巧的寒烟完成签到,获得积分10
2分钟前
寒冷犀牛完成签到 ,获得积分10
2分钟前
迅速飞丹完成签到,获得积分10
2分钟前
naczx完成签到,获得积分0
2分钟前
一天完成签到 ,获得积分10
2分钟前
虚心的手套完成签到,获得积分10
3分钟前
姚芭蕉完成签到 ,获得积分0
3分钟前
睡不醒完成签到 ,获得积分10
3分钟前
tfonda完成签到 ,获得积分10
3分钟前
洁净寡妇完成签到,获得积分10
3分钟前
1437594843完成签到 ,获得积分10
3分钟前
solution完成签到 ,获得积分10
3分钟前
今后的应助被haralee采纳,获得10
3分钟前
傻傻的曼柔完成签到,获得积分10
3分钟前
我是笨蛋完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Energie-Contracting 1500
Spec 401: Standards for Jet Fuel Facility and Equipment Commissioning and Flushing at Airports, 2026.1 (Original Issue) 1000
Spec 103: Standard for Jet Fuel Quality Control at Airports, Revision 2026.1 1000
Mathematical models in hydrology 1000
Klimaschutzrecht durch den Energiesektor im Mehrebenensystem – Ein Rechtsvergleich 1000
Oncology Clinical Trials: Successful Design, Conduct, and Analysis, Second Edition 800
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 计算机科学 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 物理 复合材料 内科学 催化作用 光电子学 人工智能 细胞生物学 无机化学 物理化学 数学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 8084170
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 9498867
关于积分的说明 21408913
捐赠科研通 7652741
什么是DOI,文献DOI怎么找? 3402477
关于科研通互助平台的介绍 2531647
邀请新用户注册赠送积分活动 2441144