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Effects of different metal electrodes on the ferroelectric properties of HZO thin films

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作者

Pei Xu,Shaoan Yan,Yingfang Zhu,Junyi Zang,Penghong Luo,Gang Li,Qiong Yang,Zhuojun Chen,Wanli Zhang,Xuejun Zheng,Minghua Tang

出处

期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
日期：2023-10-01 卷期号：34 (28) 被引量：17

标识

DOI：10.1007/s10854-023-11303-y

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