Effects of different metal electrodes on the ferroelectric properties of HZO thin films

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作者
Pei Xu,Shaoan Yan,Yingfang Zhu,Junyi Zang,Penghong Luo,Gang Li,Qiong Yang,Zhuojun Chen,Wanli Zhang,Xuejun Zheng,Minghua Tang
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:34 (28) 被引量:20
标识
DOI:10.1007/s10854-023-11303-y
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