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Effects of different metal electrodes on the ferroelectric properties of HZO thin films
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作者
Pei Xu,
Shaoan Yan,
Yingfang Zhu,
Junyi Zang,
Penghong Luo,
Gang Li,
Qiong Yang,
Zhuojun Chen,
Wanli Zhang,
Xuejun Zheng,
Minghua Tang
出处
期刊：
Journal of Materials Science: Materials in Electronics
[Springer Science+Business Media]
日期：2023-10-01
卷期号：34 (28)
被引量：17
标识
DOI：10.1007/s10854-023-11303-y
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