Effect of gradient polishing depth on material removal mechanism of silicon wafer polishing by silicon dioxide abrasive based on molecular dynamics

抛光 材料科学 薄脆饼 磨料 化学机械平面化 二氧化硅 机制(生物学) 复合材料 冶金 光电子学 哲学 认识论
作者
Jianbo Le,Juan Liu,May Lei Mei,Long‐Qing Chen,Hong Jiang,Dongling Yu
出处
期刊:Journal of Manufacturing Processes [Elsevier BV]
卷期号:141: 746-759 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.jmapro.2025.03.022
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