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Surface damage induced by oxidation in silicon wafer polishing: Mechanisms and mitigation strategies

材料科学抛光薄脆饼硅化学机械平面化曲面（拓扑）工程物理纳米技术光电子学复合材料工程类几何学数学

作者

Chongyang Li,Peixin Chen,Anmin Hu,Ming Li

出处

期刊：Journal of Manufacturing Processes [Elsevier]
日期：2025-09-10 卷期号：153: 319-325

标识

DOI：10.1016/j.jmapro.2025.09.022

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