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Influence of Annealing Treatment on Stress and Piezoelectric Properties of High Temperature Alloy Rigid Substrate Piezoelectric Thin Film Sensors

压电材料科学退火（玻璃）合金薄膜复合材料压力（语言学）基质（水族馆）纳米技术语言学海洋学地质学哲学

作者

Hui Yu,Chenguang Guo,Guowei Mo

出处

期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2025-06-01 卷期号：: 181803-181803

标识

DOI：10.1016/j.jallcom.2025.181803

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