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Development of High Sensitivity Micro Pressure Sensor Using Graphene Diaphragm and Titanium Substrate

材料科学 石墨烯 振膜（声学） 压力传感器 基质（水族馆） 灵敏度（控制系统） 纳米技术 微电子机械系统 光电子学 声学 电子工程 机械工程 工程类 地质学 物理 海洋学 扬声器
作者
Lee Heung Shik
出处
期刊：Journal of the Korean Society of Mechanical Technology [Korean Society of Mechanical Technology]
日期：2020-01-01 卷期号：22 (2): 283-289
链接
go.krdoi.org
标识
DOI：10.17958/ksmt.22.2.202004.283
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