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Crack-free high quality 2 μm-thick Al0.5Ga0.5N grown on a Si substrate with a superlattice transition layer

超晶格 基质（水族馆） 材料科学 图层（电子） 质量（理念） 过渡层 结晶学 光电子学 化学 复合材料 物理 量子力学 海洋学 地质学
作者
Yingnan Huang,Jianxun Liu,Xiujian Sun,Xiaoning Zhan,Qian Sun,Hongwei Gao,Meixin Feng,Yu Zhou,Masao Ikeda,Hui Yang
出处
期刊：CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
日期：2019-11-26 卷期号：22 (7): 1160-1165 被引量：17
标识
DOI：10.1039/c9ce01677e
摘要
We reported the successful growth of a crack-free high-quality 2 μm-thick Al0.5Ga0.5N film with a smooth surface grown on planar Si by metal–organic chemical vapor deposition.
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