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Hydrogen passivation for reduction of SiO2/Si interface state density using hydrocarbon-molecular-ion-implanted silicon wafers
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作者
Ryosuke Okuyama,
Takeshi Kadono,
Ayumi Onaka-Masada,
Akihiro Suzuki,
Koji Kobayashi,
Satoshi Shigematsu,
Ryo Hirose,
Yoshihiro Koga,
Kazunari Kurita
出处
期刊：
Japanese Journal of Applied Physics
日期：2020-10-22
卷期号：59 (12): 125502-
被引量：2
标识
DOI：10.35848/1347-4065/abc3d8
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