Swelling and dissolution kinetics of poly(4-hydroxystyrene) in tetrabutylammonium hydroxide (TBAH) aqueous solutions studied by quartz crystal microbalance (QCM) method—in comparison with tetramethylammonium hydroxide (TMAH) aqueous solutions

四甲基氢氧化铵 溶解 石英晶体微天平 四丁基氢氧化铵 水溶液 肿胀 的 化学 四甲基铵 氢氧化物 动力学 聚合物 无机化学 化学工程 有机化学 吸附 离子 物理 量子力学 工程类
作者
Yuko Tsutsui Ito,Hitomi Betsumiya,Takahiro Kozawa,Kazuo Sakamoto,Makoto Muramatsu
出处
期刊:Japanese Journal of Applied Physics [Institute of Physics]
卷期号:61 (6): 066506-066506 被引量:21
标识
DOI:10.35848/1347-4065/ac6c11
摘要

Abstract The dissolution (including the formation of a transient swelling layer) of a resist polymer is key to realizing ultrafine patterning. However, the details of the dissolution of resist polymers remain unclarified. In this study, the swelling and dissolution kinetics of poly(4-hydroxystyrene) (PHS) films in tetramethylammonium hydroxide (TMAH) and tetrabutylammonium hydroxide (TBAH) aqueous solutions were investigated by a quartz crystal microbalance method. PHS is a typical backbone polymer (a dissolution agent) of chemically amplified resists. The swelling and dissolution kinetics of PHS were observed by changing the protection ratio of the hydroxyl groups of PHS and the alkaline concentration in developers. Not only the dissolution rate but also the mode of dissolution depended on the molecular structure of tetraalkylammonium cations. For polymer matrices with strong hydrogen bond networks such as PHS, the penetration of tetrabutylammonium cations is considered to be strongly suppressed by their long alkyl chains.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
634301059完成签到 ,获得积分10
1秒前
1秒前
善学以致用应助追寻梦之采纳,获得30
1秒前
胖一达完成签到 ,获得积分10
2秒前
茹茹完成签到 ,获得积分10
2秒前
沐风完成签到,获得积分20
2秒前
你好完成签到 ,获得积分10
2秒前
htm426完成签到,获得积分10
3秒前
小恐龙飞飞完成签到 ,获得积分10
4秒前
忧伤的慕梅完成签到 ,获得积分10
4秒前
Yes0419完成签到,获得积分10
6秒前
耶椰应助沐风采纳,获得20
6秒前
wyh3218完成签到 ,获得积分10
7秒前
caulif完成签到 ,获得积分10
9秒前
zlx完成签到 ,获得积分10
10秒前
ccccchen发布了新的文献求助50
11秒前
马丁陌陌007完成签到 ,获得积分10
14秒前
Mo丶Salah完成签到,获得积分10
14秒前
King完成签到,获得积分10
14秒前
18秒前
在途中完成签到,获得积分10
19秒前
2012csc完成签到 ,获得积分0
19秒前
无脚鸟完成签到,获得积分10
19秒前
CDI和LIB完成签到,获得积分10
20秒前
Docgyj完成签到 ,获得积分0
21秒前
Youlu发布了新的文献求助10
23秒前
奔跑西木完成签到 ,获得积分10
25秒前
青春完成签到,获得积分10
25秒前
lsy完成签到,获得积分10
26秒前
小木林完成签到 ,获得积分10
28秒前
violetlishu完成签到 ,获得积分10
29秒前
29秒前
喵喵完成签到 ,获得积分10
31秒前
blossoms完成签到 ,获得积分10
32秒前
xrkxrk完成签到 ,获得积分0
32秒前
harry2021完成签到,获得积分10
33秒前
ccccchen完成签到,获得积分10
33秒前
搬砖人完成签到,获得积分10
34秒前
诗筠完成签到 ,获得积分0
35秒前
854fycchjh完成签到,获得积分10
37秒前
高分求助中
Thinking Small and Large 500
Algorithmic Mathematics in Machine Learning 500
Getting Published in SSCI Journals: 200+ Questions and Answers for Absolute Beginners 300
The Monocyte-to-HDL ratio (MHR) as a prognostic and diagnostic biomarker in Acute Ischemic Stroke: A systematic review with meta-analysis (P9-14.010) 240
Interpretability and Explainability in AI Using Python 200
SPECIAL FEATURES OF THE EXCHANGE INTERACTIONS IN ORTHOFERRITE-ORTHOCHROMITES 200
Null Objects from a Cross-Linguistic and Developmental Perspective 200
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 物理 生物化学 纳米技术 计算机科学 化学工程 内科学 复合材料 物理化学 电极 遗传学 量子力学 基因 冶金 催化作用
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3833955
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3376373
关于积分的说明 10492814
捐赠科研通 3095877
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1704767
邀请新用户注册赠送积分活动 820104
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 771859