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图层（电子）
作者
Victor Katsap,Chising Lai
标识
DOI：10.1109/ivec.2019.8745230
摘要
LaB6 cathode is the emitter of choice in electron beam lithography tools. We have devised and implemented simple, robust technique for evaluating LaB6 cathode workfunction (WF), and studied workfunction-operating temperature relationship.
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