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Development of Thin Film Fabrication Using Magnetron Sputtering

微电子 制作 薄膜 材料科学 溅射沉积 纳米技术 溅射 光电子学 工程物理 工程类 医学 病理 替代医学
作者
Morteza Sasani Ghamsari
出处
期刊:Metals [Multidisciplinary Digital Publishing Institute]
卷期号:13 (5): 963-963 被引量:4
标识
DOI:10.3390/met13050963
摘要

Due to their versatility, thin metal films are being used in many modern technologies, such as optoelectronics, microelectronics, catalysis, energy conversion and storage, sensors, actuators, and food packaging [...]
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