SciHub
文献互助
期刊查询
一搜即达
科研导航
即时热点
交流社区
登录
注册
发布
文献
求助
首页
我的求助
捐赠本站
Study on tin contamination deposition mechanism on collector mirror surfaces in LPP-EUV light sources based on hydrodynamics and particle simulation theory
极紫外光刻
锡
粒子（生态学）
机制（生物学）
沉积（地质）
颗粒沉积
污染
材料科学
物理
化学物理
光学
机械
冶金
地质学
量子力学
海洋学
生物
古生物学
湍流
生态学
沉积物
作者
Wenhao Shen,
Qipeng Lü,
Yuan Song,
Xuepeng Gong,
Kewei Chai,
Shengchi Li
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2025-01-07
卷期号：233: 114024-114024
被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114024
求助该文献
最长约 10秒，即可获得该文献文件
相关文献
暂未提供新的相关文献。
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
我的文献求助列表
浏览历史
一分钟了解求助规则
|
捐赠本站
|
历史今天
更新
⚡
2026年影响因子、分区
已更新！
(2026-6-17)
更新
📰 新增『新锐期刊分区』
(2026-3-24)
更新
💬 新增更精细的自定义提醒设置
(2026-1-4)
新增
🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻
(2026-1-2)
新增
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
酷波er
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
刚刚
希望天下0贩的0
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
刚刚
JamesPei
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
哈哈哈
上传了
应助文件
1秒前
Lucas
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
传奇3
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
1arkspur
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
务实的一刀
完成签到
，获得积分
10
1秒前
parry
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
30
1秒前
Owen
的
应助
被
科研通管家
采纳，获得
10
1秒前
顾矜
上传了
应助文件
2秒前
酷波er
上传了
应助文件
2秒前
翁雁丝
发布了新的
文献求助
10
2秒前
科研通管家
关闭了
sun
的
文献求助
2秒前
科研通管家
关闭了
险胜
的
文献求助
2秒前
Mortal
完成签到
，获得积分
10
2秒前
成就语芹
发布了新的
文献求助
10
3秒前
传奇3
上传了
应助文件
3秒前
li
发布了新的
文献求助
10
3秒前
秋风
上传了
应助文件
4秒前
lan__
完成签到，获得积分
10
4秒前
Lucas
的
应助
被
小光光
采纳，获得
10
6秒前
rasmus
发布了新的
文献求助
10
6秒前
传奇3
的
应助
被
zhong
采纳，获得
10
7秒前
lucky
发布了新的
文献求助
10
7秒前
书生意气
发布了新的
文献求助
10
8秒前
李爱国
的
应助
被
Wangshengnan
采纳，获得
30
8秒前
WWW
发布了新的
文献求助
10
8秒前
万能图书馆
的
应助
被
wei
采纳，获得
10
9秒前
落雪芊芊
发布了新的
文献求助
10
9秒前
gxt
的
应助
被
Yzr
采纳，获得
10
10秒前
七月火
完成签到
，获得积分
10
11秒前
完美世界
上传了
应助文件
12秒前
领导范儿
上传了
应助文件
12秒前
小小小雪糕
完成签到
，获得积分
10
12秒前
酷波er
的
应助
被
YunjiangZhang
采纳，获得
10
13秒前
einspringen
发布了新的
文献求助
10
13秒前
SciGPT
的
应助
被
书生意气
采纳，获得
10
13秒前
学习者
完成签到，获得积分
10
14秒前
iitj
完成签到，获得积分
10
14秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】
10000
Encyclopedia of Modern Artificial Intelligence
1000
Особенности технологий и методов информационно-психологических войн СССР с Великобританией и США в период 1939-1953 гг
1000
Das Matthäusevangelium: Kapitel 1:1–17
1000
IRTSD: Open-Source Data and Toolset for Electromagnetic Transient Analysis of Disturbances and IBR Control Malfunctions in Transmission Systems
1000
Challenging Attachment Theory
600
Analyses de reconnaissances de dettes passées devant les échevins d'Ypres (1249-1291)
600
热门求助领域
（近24小时）
化学
材料科学
医学
生物
纳米技术
计算机科学
工程类
有机化学
化学工程
生物化学
物理
复合材料
内科学
催化作用
光电子学
人工智能
细胞生物学
无机化学
物理化学
数学
热门帖子
关注
科研通微信公众号，转发送积分
8140269
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？
9540579
关于积分的说明
21641114
捐赠科研通
7724345
什么是DOI，文献DOI怎么找？
3421054
关于科研通互助平台的介绍
2546262
邀请新用户注册赠送积分活动
2463114
今日热心研友
null
788
4110
Maestro_S
381
4820
无极微光
265
5310
秋风
358
3920
suhai
305
3940
彭于彦祖
105
4010
aaaa
124
3180
嘻嘻哈哈
280
1530
Criminology34
217
1875
cdercder
210
1480
04d
170
1840
v0id
125
2210
吃葡萄不吐葡萄皮
104
2100
蓝天
171
1200
热心市民小红花
135
1270
anz1
106
1520
风吹麦浪
115
1160
牧青
2250
qiqiflower
2090
Nole
86
1100
注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
null
Maestro_S
无极微光
秋风
suhai
彭于彦祖
aaaa
嘻嘻哈哈
Criminology34
cdercder
04d
v0id
吃葡萄不吐葡萄皮
蓝天
热心市民小红花
anz1
风吹麦浪
牧青
qiqiflower
Nole
皖公网安备34019202002308
