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Impact of hydrogen-controlled thermal ALD SiO2 insulators on IGZO channel FETs to optimize the electrical performance
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作者
Su‐Hwan Choi,
Dong-Gyu Kim,
Jae‐Hyeok Kwag,
Kie Moon Song,
Yeonhee Lee,
Chang-Kyun Park,
Jin‐Seong Park
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2025-01-01
卷期号：13 (12): 6215-6223
被引量：1
标识
DOI：10.1039/d4tc04277h
摘要
The impact of hydrogen controlled by thermal ALD SiO 2 deposition temperature, to demonstrate ALD IGZO thin film transistor performances.
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